Čisti prostor za mikroelektroniko je posebno proizvodno okolje za zagotavljanje kakovosti in učinkovitosti izdelkov v industriji mikroelektronike. Pri tem projektu je upoštevanih veliko dejavnikov, kot so čiščenje zraka, temperatura, vlaga, elektrostatična naelektritev, nadzor hrupa in tako naprej.
Različni razredi industrij uporabe mikroelektronike v čistih prostorih:
1.Proizvodnja integriranih vezij
- ISO 1 - 3: pogosto se uporablja v najnaprednejših postopkih fotojedkanja, jedkanja in drugih, ki zahtevajo izredno visoko kontrolo drobnih delcev in lahko že majhna kontaminacija povzroči okvare čipa.
- ISO 4 - 5: Primerno za nanašanje tankega filma, ionsko implantacijo in druge postopke pri izdelavi čipov ter ima tudi stroge zahteve za nadzor delcev.
2.Test enkapsulacije polprevodnikov
- ISO 6 - 7: lahko izpolnjuje zahteve večine povezav za testiranje embalaže, kot je embalaža čipov, funkcionalni preizkus itd.
3. Izdelava panelnih zaslonov
- ISO 5 - 6: Uporablja se pri premazovanju in osvetlitvi pri proizvodnji LCD plošč.
4. Proizvodnja elektronskih komponent
- ISO 7 - 8: uporablja se za proizvodnjo elektronskih komponent z relativno nizkimi okoljskimi zahtevami, kot so upori, kondenzatorji itd.
Skratka, višji kot je razred čistega prostora, manjše je število suspendiranih delcev v zraku, ki jih je mogoče nadzorovati, čistejše je okolje in bolj primerno za mikroelektronske proizvodne procese, ki zahtevajo izjemno stroga proizvodna okolja. Vendar pa je čisti prostor nižjega razreda primeren za proizvodne procese, ki zahtevajo razmeroma ohlapno okolje.
Glavne naprave sistema za čiščenje zraka v mikroelektronski čisti sobi:
1. Zračni filter
- Filter primarne učinkovitosti: v glavnem se uporablja za filtriranje večjih delcev, kot so prah, lasje itd., ki igrajo predhodno vlogo pri čiščenju zraka.
- Srednje učinkoviti filtri: filtrirajo srednje velike trdne delce, ki onesnažujejo, in dodatno izboljšajo čistost zraka.
- HEPA filter: ključna naprava za doseganje visoke čistoče z visoko učinkovitostjo filtracije za delce nad 0,3 mikrona
- Ultra-visoko učinkovit filter (ULPA filter): za 0.1 - 0.3 mikronske delce je njegova učinkovitost filtriranja lahko nad 99,999 % in se pogosto uporablja na mestih z izjemno visokimi zahtevami glede čistoče.
2.Ventilator
- Odgovoren za pretok zraka, zaradi česar zrak prehaja skozi filter in kroži v čistem prostoru.
3. Kanal
- uporablja se za prenos filtriranega zraka, da se zagotovi enakomerna porazdelitev zraka v vsa področja čistega prostora.
4. Enota za pripravo svežega zraka
- uvajajte svež zrak zunaj, ga filtrirajte ter prilagodite temperaturo in vlažnost, da ustrezata potrebam čistega prostora.
5. Enota za čiščenje zraka
- vključite različne funkcije čiščenja in kondicioniranja, kot so filtracija, sterilizacija, razvlaževanje, vlaženje itd.
6. Komora za statični tlak
-stabilizira pretok zraka, zmanjša turbulenco in hrup zračnega toka ter zagotavlja enakomeren pretok zraka skozi filtre.
7. Dušilec
- Zmanjšajte hrup, ki ga povzročajo ventilatorji in pretok zraka, kar zagotavlja tiho delovno okolje
8. Senzorji in krmilniki diferenčnega tlaka
- Spremljajte razliko v tlaku med različnimi območji čistega prostora, da zagotovite, da zrak teče v vnaprej določeni smeri, da preprečite navzkrižno kontaminacijo onesnaževal.
Te naprave skupaj zagotavljajo, da kakovost zraka v mikroelektronski čisti sobi doseže zahtevani razred čistosti.
Ključni koraki in tehnične točke inženiringa mikroelektronskih čistih prostorov:
1. Načrtovanje načrtovanja: v skladu s proizvodnim procesom in zahtevami določite razred čistih prostorov, območje, postavitev itd. Hkrati je pot pretoka osebja, materialov in opreme ter načrtovanje čiščenja zraka, klimatizacije in sisteme razsvetljave je treba upoštevati.
2. Struktura zgradbe: imeti mora dobro tesnjenje in toplotno izolacijo, da se zmanjša vpliv zunanjega okolja na notranjost. Hkrati je treba uporabiti materiale, pri katerih je težko ustvariti prah in statično elektriko, kot sta nerjavno jeklo in aluminijeve zlitine.
3. Sistem za čiščenje zraka: je osrednji del mikroelektronskega inženiringa čistih prostorov. Običajno se uporabljajo visoko učinkoviti filtri, ventilatorji, zračni kanali in druge naprave za odstranjevanje prahu, bakterij, virusov in drugih onesnaževal v zraku v zaprtih prostorih, tako da zrak doseže določeno stopnjo čistosti.
4. Klimatski sistem: mora biti sposoben nadzorovati notranjo temperaturo, vlažnost in tlačno razliko, da izpolnjuje zahteve proizvodnega procesa. Hkrati je treba sprejeti energetsko varčno in okolju prijazno klimatsko opremo in tehnologijo za zmanjšanje obratovalnih stroškov.
5. Elektrostatični nadzor: proizvodni proces mikroelektronike je nagnjen k ustvarjanju statične elektrike, ki bo vplivala na kakovost izdelka. Zato je treba sprejeti ukrepe za odpravo statične elektrike, kot so uporaba statičnih eliminatorjev, polaganje antistatičnih tal itd.
6. Nadzor hrupa: hrup bi vplival na delovno učinkovitost in zdravje osebja, zato je treba sprejeti ukrepe za nadzor hrupa, kot je uporaba materialov za zvočno izolacijo, namestitev dušilcev itd.
7. Sistem razsvetljave: mora biti sposoben zagotoviti zadostno svetlost in enotnost za izpolnjevanje zahtev proizvodnega procesa. Hkrati je treba sprejeti energetsko varčno in okolju prijazno opremo in tehnologije za razsvetljavo, da se zmanjšajo obratovalni stroški.
8. Upravljanje z osebjem in materialom: vstop in izstop osebja in materialov je treba strogo upravljati in nadzorovati, da se zmanjša vnos zunanjih onesnaževal. Hkrati je treba osebje usposobiti za izboljšanje njihovega zavedanja o čistoči in operativnih sposobnosti.
9. Testiranje in preverjanje: ko je čista soba zgrajena, je treba opraviti preskus in verifikacijo, da se zagotovi, da zmogljivost čiste sobe izpolnjuje projektne zahteve, ki vključujejo čistost zraka, temperaturo, vlažnost, razliko v tlaku, statično elektriko itd.
Skratka, mikroelektronsko inženirstvo čistih prostorov je kompleksen sistem, ki zahteva več dejavnikov. Le s sprejetjem napredne tehnologije in opreme je mogoče zgraditi čisti prostor, ki izpolnjuje zahteve.
Priljubljena oznake: Čisti prostori za mikroelektroniko, Kitajska dobavitelji čistih prostorov za mikroelektroniko, proizvajalci, tovarna
